目前的電子廠有機廢氣處理都啟用催化燃燒環保設備，大多數電子企業安裝的都是普通的廢氣處理設備，例如噴淋塔、光氧催化設備等單一的環保設備。催化燃燒設備根據吸附（效率高）和催化燃燒（節能）兩個基本原理設計，采用雙氣路連續工作，一個催化燃燒室，兩個吸附床交替使用。先將有機廢氣用活性炭吸附，當快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。

電子行業有機廢氣治理方法：

針對電子行業有機廢氣排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法。

建議采用催化燃燒設備來對電子廠進行有機廢氣治理，相對于冷凝、炭吸附、低溫等離子等有機廢氣治理技術，在電子廠廢氣使用多相催化氧化設備技術時更科學、更安全，且性價比也更高。通過該套設備處理廢氣，廢氣凈化率可達99%以上，且無二次污染。

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