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[鑫藍動態]二氯硅烷分裝和真空系統廢氣處理工藝[ 2025-05-28 00:00 ]
  二氯硅烷(SiH?Cl?)分裝及真空系統廢氣處理工藝需結合其化學特性(易燃、有毒、遇水水解)和工藝安全要求,設計分裝流程與廢氣凈化方案。以下是分步說明:       一、二氯硅烷分裝工藝   系統設計原則   密閉性:全程采用雙機械密封、真空夾套管道,避免泄漏。   惰性化:分裝前用高純氮氣(N?)吹掃系統,確保氧含量<1ppm,防止與二氯硅烷反應。   壓力控制:通過減壓閥和背壓閥維持分裝壓力≤0.
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